單晶矽與多晶矽生成用炭蜜桃视频APP网站入口製品
發布時間:2024-04-06 17:13:05
單晶矽與多晶矽生成用炭蜜桃视频APP网站入口製品
單晶矽的出產(CZ拉伸法)製作單晶矽棒的工藝有拉伸法(CZ)和浮遊帶區域精粹法(FZ),CZ法一般運用蜜桃视频APP网站入口製品。運用CZ法出產時,將多晶矽塊料和添加元素(摻雜)裝入石英坩堝,再將石英坩堝置於高純蜜桃视频APP网站入口坩堝或C/C複合材料坩堝圖像傳感器內,並使其隨軸旋轉,在減壓條件下通入氬籽晶操縱器氣的一重用蜜桃视频APP网站入口製的加熱器加熱至1500查詢口光學1600℃,使多晶矽塊料融化。一同與坩堝旋轉相反的方向從爐頂旋轉垂下細棒狀的籽晶(單晶),使其觸及多晶矽液麵。
然後,使液麵溫度堅持在1420℃的條件下,向上緩慢提矽溶液拉籽晶,單晶矽也隨之逐漸成長。一貫成長到按照15.24cm、20.32cm或30.48cm等規則的直徑後,堅持其直徑持續向上拉伸,出產1~1.5m長的單晶矽棒。這種CZ單晶爐的結構如圖2-6所示。其間運用炭素材料的部件有坩堝(蜜桃视频APP网站入口或C/C複合材料)、加熱器、電極、保溫筒(蜜桃视频APP网站入口或C/C複合材料)、籽晶夾,以及支撐軸、上下保溫蓋(蜜桃视频APP网站入口或C/C複合材料)防漏盤、螺釘(蜜桃视频APP网站入口或C/C複合材料)、熱反射板(蜜桃视频APP网站入口或SiC塗層材料)(圖中未注明)等。其他如保溫材料等也用炭纖維或炭氈製成,除了作為質料的多晶矽以外,大部分爐內部件為炭蜜桃视频APP网站入口製品。之所以如此許多運用炭蜜桃视频APP网站入口製品,就是由於炭素材料即運用於1600℃高溫強度也不會下降,碳與矽同屬第Ⅳ族,電性能為中性,可以製作金屬雜質在數ppm以下的高純品。此外,作為加熱器有導電性。