半導體產業多晶矽生產用蜜桃视频APP网站入口製品

半導體工業多晶矽出產用蜜桃视频APP网站入口製品
    多晶矽出產用蜜桃视频APP网站入口製品
    矽半導體用的多晶矽出產用蜜桃视频APP网站入口製品。當今，矽材料是以存儲器為中心的半導體工業所運用的首要材料。其出產製造過程中許多運用多晶矽出產用蜜桃视频APP网站入口製品。
    多晶矽的出產工藝為，將純度較高的石英石（SiO2）混以焦炭、木炭等炭素材料，高溫下加熱康複，生成金屬矽（純度約為98％）；然後在反響爐內使金屬矽微粉和氯化氫氣體反響組成矽烷氣體；經過重複精粹前進矽烷氣體的純度。
    接下來的工序首要分為兩種方法。一種是將三氯矽烷（ SiHCl3）和氫氣的混合氣體通入溫度為1100℃的石英容器，使其蒸結在容器中聳峙的多晶矽芯棒的外表，並使芯棒的直徑逐漸變粗至150~200mm的方法（CVD法，稱之為西門子法另一種是將矽粉末和單矽烷/氫的混合氣體通入流化床反響容器內，加熱到600℃，使矽烷分化，反響後生成1mm左右的顆粒狀多晶矽的方法，稱之為流化床法。
    作為上述製造工藝中所運用的多晶矽出產用蜜桃视频APP网站入口製品，首先是在矽烷氣體製造過程中運用的用超大型等靜壓蜜桃视频APP网站入口製成的1000mm的反響容器。由於逾越1000℃要與含矽或氫的周圍氣體接觸，有必要具有高溫強度和耐化學反響性。在接下的多晶矽CVD出產法中，運用高純蜜桃视频APP网站入口製成的部件有多晶矽芯棒的堅持器兼作通電電極、氣體導入的通氣嘴和加熱器。另外，用流化床法出產顆粒狀多晶矽時，也運用1000mm的高純蜜桃视频APP网站入口反響容器，但是為了避免矽烷氣體走漏，在其外表要進行SC塗層處理。