化合物半導體液相外延生成用高純蜜桃视频APP网站入口製品
發布時間:2024-02-19 17:01:46
化合物半導體液相外延生成用高純蜜桃视频APP网站入口製品
把拉伸法製造的化合物半導體單晶棒製成矽片,再用液相法在矽片上生長同種或異種的化合物半導體結晶層。這個進程運用的設備有臥式滑動舟型、臥式旋轉滑動型、豎式浸漬型等品種。臥式滑動舟型的簡單構成其舟體便是用高純度各向同性蜜桃视频APP网站入口的部件組合而成,也可以運用玻璃炭塗層的蜜桃视频APP网站入口部件。其作業原理為把石英管中的蜜桃视频APP网站入口舟加熱至1300,在通入氫氣的同時,移動裝載有矽片的滑動板,使其與所定的某種金屬相觸摸,緩慢冷卻後矽片上就會分出單晶。要生成多層單晶時,按上述辦法反複操作即可。之所以運用蜜桃视频APP网站入口材料,乃是由於其具有高溫強度高、電性能不活躍、高純蜜桃视频APP网站入口製品、熱傳導性能好、加工性能好及自潤滑性等特性。
在化合物半導體上,以CVD法生長同種或不同種的化合物半導體單結晶的工序中,作為固定片的基盤座,運用SiC塗層的高純蜜桃视频APP网站入口製品。質料運用含Ga、As、Al等的有機化合物,在減壓下加熱至600~750℃,使之熱分解蒸塗到片上生成薄膜。選用SiC塗層品的理由是為避免從蜜桃视频APP网站入口中發生的氣或粉塵汙染薄膜。